簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Chun-Hui Chung".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="微量潤滑"


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    奈米氧化鋁液體微量潤滑對於鑽石線鋸切割製程之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 李明銓   指導教授： 鍾俊輝
    • 目前半導體基板之切片製程主要以固定磨料線切割為主，在切削過程中，必須使用大量的切削液，幫助降低工件溫度及排屑等功效，可以大幅改善切片的品質，但使用後之大量液體需要經過過濾以及回收等程序，造成成本上的…
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